聚时科技“一种多自由度运动设备及晶圆承载设备”专利发布

  天眼查显现，聚时科技（上海）有限公司“一种多自由度运动设备及晶圆承载设备”专利发布，请求发布日为2024年10月29日，请求发布号为CN118858155A。

  本发明触及半导体检测技术领域，触及一种晶圆放置台，尤其是触及一种多自由度运动设备及晶圆承载设备。经过在运动轴上设置气浮套，经过设置三个具有气浮结构的限位柱以及直接与运动轴衔接的三个轴向位移电机，能够在必定程度上完结运动轴在轴向和周向的运动稳定性，并完成高精度高频率高呼应的竖直方向运动和旋转运动。